微導納米：目前用于TOPCon電池的設備均已實現產業(yè)化應用 并已完成GW級別產線驗證
來源：界面新聞 時間：2023-02-01 20:32:38
【資料圖】
微導納米近期接受機構調研時表示，公司ALD設備可用于正面Al2O3鈍化層的制備，PECVD設備可用于正反面的SiNX薄膜制備，PEALD/PECVD二合一設備可用于背面超薄隧穿氧化層(SiO2)和多晶硅層(Poly-Si)的制備，羲和系列設備可以完成擴散、退火等步驟。目前公司用于TOPCon電池的設備均已實現產業(yè)化應用，并已完成了GW級別產線的驗證。
（文章來源：界面新聞）
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